測量通常在不同的光強度和溫度條件下進行。
重要的半導體電容器件參數可以從測量中提取，例如輸出電流、轉換效率、最大功率輸出、摻雜密度、電阻率等。電氣特性對於確定光伏電池中的損耗也很重要，以便了解如何以最小的損失使電池盡可能高效。用於測試的基於的系統。早期被動元件代理商，半導體電容測試系統製造商認識到需要能夠進行靈敏測量的緊密集成儀器，這些儀器可以在自動、半自動和手動模式下運行，以適應各種被動元件代理商測試情況。
這些早期的半導體參數分析儀使用在計算機控制下運行的多個專注於測量。
半導體電容操作員界面和系統軟件通過為常用半導體電容測試提供即用型測試程序簡化了過程。這些集成參數分析儀隨著時間的推移不斷改進，以在測試中提供更大的靈活性和靈敏度。例如，基本的半導體表徵系統包括兩個中等功率。這些被動元件代理商可以提供高達 2W 輸出的電壓和電流。此外被動元件代理商，還提供高功率選項；測試系統機箱最多可包含 9 個，採用高功率和中功率單元的任意組合。
當用電壓刺激半導體器件或材料時，響應電流通常非常小，這是傳統可能無法準確測量的。
半導體電容為處理這種情況，具有遠程前置放大器選項，半導體電容可將低電流測量範圍擴展至。為了滿足使用簡單的願望，前置放大器模塊與系統完全集成。對用戶來說，似乎只是提供了額外的測量範圍和分辨率。遠程前置放大器也可以遠程放置，被動元件代理商以最大程度地減少由於長電纜引起的測量問題。被動元件代理商脈衝測試的突破。2007 年參數分析儀取得了重大進步，當時脈衝和測量功能與集成在一個單盒測試系統中。
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